六氟化硫是一種無色無臭氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應(yīng)，-64℃時在液氨中反應(yīng)。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
    六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如：斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。
    電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。冷凍工業(yè)作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。
    采礦工業(yè)用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。高純SF6還因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫(yī)療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。隨著當今科技的發(fā)展，SF6涉及的領(lǐng)域不斷擴展，被越來越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。